微弧電漿氧化發展歷史
微弧氧化（Micro-arc Oxidation, MAO）技術，又可稱為微電漿氧化(Microplasma Oxidation, MPO),電漿電解氧化 (Plasma Electrolytic Oxidation, PEO)、陽極火花沉積 (Anodic Spark Deposition, ASD), 火花沉積陽極氧化(Anodic Oxidation by Spark Deposition, ANOF)。此技術是由傳統陽極處理發展出來，但操作電壓高於崩潰電壓，可在水溶液中的工件表面形成輝光放電(glow discharge)和微小電弧(micro-arc)現象，所以又稱為微弧電漿氧化(Micro-arc Plasma Oxidation, MAPO)。此技術開始於1960年代，1970年代在蘇聯開啟了輕金屬的MAPO陶瓷鍍膜的廣泛研究，隨後美國、德國等先進國家也競相投入，然而其多孔膜結構和低成長膜速率限制了此技術的實際應用。直到1980年代，發現電解液從酸性改成鹼性及電源從直流改成非直流(交流或脈衝)，MAPO鍍膜的品質和沉積速率可大幅改善，而受到國防和航太工業發達國家的注意和廣泛應用。隨著民生產品品質要求提升，MAPO也漸漸成為高科技產品中必要且重要的表面處理方法。因此於民生物品製造產業發達的亞洲地區，也於1990年代末開始積極發展類似技術。
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| 齒輪微弧氧化放電情形 | 鋁合金齒輪(微弧氧化鍍層) |